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原料空氣經空氣壓縮、凈化,進入精密過濾器,通過螺旋、凝聚、表面三級過濾除去大部分液態水和油污,然后進入冷凍式干燥機,由冷媒壓縮機制冷系統將壓縮空氣的壓力露點降至2~3℃,除去大量的水分,之后進入超精過濾器,進一步除去壓縮空氣中含有的固體顆粒,使壓縮空氣品質達到0.01μm,接著進入一臺活性碳罐,除去大部分的油類、烴類等,由此經過空氣緩沖罐進入兩個填裝有吸附劑的變壓吸附分離系統,即NGN-110D型制氮機組。潔凈的壓縮空氣由吸附塔底端進入,氣流經空氣擴散器擴散以后,均勻進入吸附塔,進行氧氮吸附分離,然后從出口端流出氮氣,進入氮氣緩沖罐,這一產氮過程約1分鐘,之后經均壓和減壓(至常壓),脫除所吸附的雜質組分(主要為氧氣),完成吸附劑的再生。兩個吸附塔交替循環操作,連續送入原料空氣,連續生產純度≥99.9%;產量≥110Nm3/h;壓力0.6 MPa(可調);露點≤-40℃的氮氣。 從制氮機出來的氮氣,經熱交換器和加熱器加熱到一定溫度以后,進入填充碳催化劑的脫氧器,碳和氮氣中的余氧反應生成二氧化碳和微量的水,再進入高效冷卻器降到常溫,再通過填充了分子篩的吸干機除去二氧化碳和水分,最后經過高純氮氣緩沖罐,精密過濾器得到高純度氮氣,氮氣純度≥99.999%;產量為≥100Nm3/h;出口溫度≤40℃,壓力0.5 MPa(可調)氮氣常壓露點-70℃。
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